Titlebook: Nanolithography; A Borderland between M. Gentili,C. Giovannella,S. Selci Book 1994 Springer Science+Business Media Dordrecht 1994 AES.PAS.P

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J. A. Dagatathe DT40 handbook has been conceived and written. This book provides an up to date overview of the different facets of research, and also intends to help newcomers get started and avoid looming pitfalls. The collection of protocols which have been kindly provided by a number of laboratories will be

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Nanolithography978-94-015-8261-2Series ISSN 0168-132X

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