書目名稱 | Oberfl?chenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs |
編輯 | Frank Schr?der-Oeynhausen |
視頻video | http://file.papertrans.cn/701/700089/700089.mp4 |
圖書封面 |  |
描述 | Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfl?che von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberfl?chennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekund?rionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es m?glich macht, Oberfl?chenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte ?nderungen des Herstellungsprozesses. |
出版日期 | Textbook 1997 |
關鍵詞 | Chemische Analyse; Elektronik; Galliumverbindungen; Halbleiter; Kristall; Massenspektrometrie; Nanotechnol |
版次 | 1 |
doi | https://doi.org/10.1007/978-3-322-95365-0 |
isbn_softcover | 978-3-8244-2091-9 |
isbn_ebook | 978-3-322-95365-0 |
copyright | Deutscher Universit?ts-Verlag GmbH, Wiesbaden 1997 |