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SCIE期刊MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 2024/2025影響因子:4.242 (MAT SCI SEMICON PROC) (1369-8001). (PHYSICS, A

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Submitted on: 20 August 2003. Revised on: 18 September 2003. Accepted on: 08 October 2003. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
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Submitted on: 24 August 2019. Revised on: 09 September 2019. Accepted on: 20 September 2019. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
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Submitted on: 30 April 2011. Revised on: 17 May 2011. Accepted on: 29 May 2011. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
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