SCIE期刊MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 2024/2025影響因子:4.242 (MAT SCI SEMICON PROC) (1369-8001). (PHYSICS, A

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Submitted on: 15 December 2012. Revised on: 29 December 2012. Accepted on: 04 January 2013. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

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Submitted on: 13 April 2008. Revised on: 20 April 2008. Accepted on: 10 May 2008. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

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