Titlebook: Nanotechnologie und Nanoprozesse; Einführung, Bewertun Wolfgang R. Fahrner Textbook 20031st edition Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2003

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Erweiterung konventioneller Bauelemente durch Nanotechniken,en eingesetzt. Die weitere Entwicklung deutet darauf hin, dass die MOS-Technologie für Silizium-Transistoren mit Kanall?ngen bis hinunter zu 25 nm genutzt werden wird. Entsprechend der ITRS soll die Reduktion der Strukturgr??en wie in Tabelle 8.1 dargestellt verlaufen.

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