| 書目名稱 | Mikrosensorik | | 副標(biāo)題 | Eine Einführung in T | | 編輯 | Thomas Elbel | | 視頻video | http://file.papertrans.cn/635/634085/634085.mp4 | | 叢書名稱 | Studium Technik | | 圖書封面 |  | | 描述 | Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur L?sung der grunds?tzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Me?gr??en- wurde in den zurückliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit v?llig neuen Anwendungsm?glichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Zürich und aus einem Skript für die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der me?technischen Praxis und in der angewandten Forschung t?tige Ingenieure k?nnen das Buch zur Einarbei- tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verst?ndnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. Für Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die für die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolith | | 出版日期 | Textbook 1996 | | 關(guān)鍵詞 | Beschleunigungssensor; Handel; Ingenieur; Messtechnik; Mikrosensor; Mikrosystem (MEMS); Physik; Sensor; Sens | | 版次 | 1 | | doi | https://doi.org/10.1007/978-3-663-05839-7 | | isbn_softcover | 978-3-528-03377-4 | | isbn_ebook | 978-3-663-05839-7 | | copyright | Springer Fachmedien Wiesbaden 1996 |
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GMT+8, 2025-10-26 10:57
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