SCIE期刊MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 2024/2025影響因子:4.242 (MAT SCI SEMICON PROC) (1369-8001). (ENGINEERIN

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Submitted on: 06 July 2002. Revised on: 19 July 2002. Accepted on: 16 August 2002. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

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