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SCIE期刊MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 2024/2025影響因子:4.242 (MAT SCI SEMICON PROC) (1369-8001). (PHYSICS, C

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Submitted on: 03 March 2002. Revised on: 28 March 2002. Accepted on: 15 April 2002. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
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Submitted on: 27 November 2013. Revised on: 03 January 2014. Accepted on: 08 January 2014. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
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Submitted on: 20 February 1998. Revised on: 05 April 1998. Accepted on: 25 April 1998. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
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