Titlebook: Bringing Scanning Probe Microscopy up to Speed; S. C. Minne,S. R. Manalis,C. F. Quate Book 1999 Kluwer Academic Publishers 1999 Helium-Ato

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https://doi.org/10.1007/978-1-4615-5167-6Helium-Atom-Streuung; Sensor; microelectromechanical system (MEMS); microscopy; silicon; surface

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