Titlebook: Bau hybrider Mikroschaltungen; Einführung in die Dü Ernst Lüder Textbook 1977 Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg 1977 Dickschichttechnik.Di

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Friederike Wawrik,N.-?. ScheibbsDer Schaltungsabgleich wird i.a. an Widerst?nden ausgeführt. Ein Abgleich von Kondensatoren, z.B. durch Verkleinem der Elektrodenfl?che wird sehr selten angewandt, weil die Gefahr der Besch?digung des Dielektrikums besteht.

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,Dünnschichttechnik,Wie im überblick bereits geschildert wurde, ben?tigt man zur Herstellung von Dünnschichtbauteilen Vakuumtechnik [42, 43], Aufdampf- und Sputter-Verfahren [2, 11, 44], Photolithographie [45] und ?tztechnik [11], worüber die n?chsten Abschnitte Auskunft geben.

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Abgleich von Bauteilen,Der Schaltungsabgleich wird i.a. an Widerst?nden ausgeführt. Ein Abgleich von Kondensatoren, z.B. durch Verkleinem der Elektrodenfl?che wird sehr selten angewandt, weil die Gefahr der Besch?digung des Dielektrikums besteht.

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Dickschichttechnik,ufzubringen. Man verwendet das vom graphischen Gewerbe her bekannte Siebdruckverfahren [9, 13]. Dabei pre?t ein bewegtes Rakel nach Bild 26 eine Paste durch die ?ffnungen eines Siebes auf die Substratoberfl?che. Die Paste besitzt die für die elektrischen Bauteile jeweils n?tige Zusammensetzung.

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0342-9148 Overview: 978-3-540-08289-7978-3-642-95301-9Series ISSN 0342-9148