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SCIE期刊IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 2024/2025影響因子:2.332 (IEEE T SEMICONDUCT M) (0894-6507). (PHYSICS

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Submitted on: 11 August 2003. Revised on: 25 October 2003. Accepted on: 25 November 2003. ___________________IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
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Submitted on: 12 March 2017. Revised on: 22 April 2017. Accepted on: 28 May 2017. ___________________IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
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Submitted on: 06 March 2010. Revised on: 13 June 2010. Accepted on: 06 July 2010. ___________________IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
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